[发明专利]一种双面电池的制备方法

摘要

本发明提供了一种双面电池的制备方法。本发明采用陶瓷辊式扩散炉对基片的正反两面进行双面扩散，而且在扩散之前采用超声雾化装置进行超声雾化沉积掺杂源，掺杂源分别是配制的特定浓度的硼酸和磷酸，超声雾化沉积掺杂源后在加热台上烘干掺杂源中的水分，烘干后进行扩散，即本发明是依次单面雾化掺杂源，单面扩散，因此不存在管式扩散炉中气体掺杂源的绕扩问题，有效避免了掺杂结被污染。经陶瓷辊式扩散炉双面扩散后，采用腐蚀液去除硼硅玻璃、磷硅玻璃、富硼层和富磷层。最后沉积减反层以及印刷电极。整个工艺过程简单，扩散时间短，而且设备的采购成本较低，有利于大量进行生产，可产业化。

主权项

1.一种双面电池的制备方法，其特征是，包括如下步骤：a、采用超声雾化装置在基片正面通过超声雾化沉积硼酸；b、在加热台上对基片正面所沉积的硼酸进行烘干；c、将基片置于陶瓷辊式扩散炉中，在960℃‑980℃下保持15min‑25min，在基片正面进行硼扩散；d、采用超声雾化装置在基片背面通过超声雾化沉积磷酸；e、在加热台上对基片背面所沉积的磷酸进行烘干；f、将基片置于陶瓷辊式扩散炉中，在850℃‑900℃下保持15min‑25min，在基片背面进行磷扩散；g、采用氢氟酸去除基片正面的硼硅玻璃和背面的磷硅玻璃；采用氢氟酸、硝酸和水的混合溶液去除基片正面的富硼层和背面的富磷层；h、采用等离子体化学气相沉积法在基片的正面和背面分别镀SiN_X减反层；i、采用丝网印刷工艺在基片的正面和背面印刷银浆并烘干、烧结至正面和背面均形成插指状的电极。