[发明专利]三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置在审
| 申请号： | 201910261224.0 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN110081080A | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 孙小庆;杨斌堂 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | F16C32/04 | 分类号： | F16C32/04;B06B1/08;G01M7/02 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹;王文颖 |
| 地址： | 201600 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置，其特征在于，包括上负载盘及下安装盘，上负载盘与下安装盘之间通过中间的磁悬浮负载部件及周围的三个相同的作动元件连接；所述作动元件包括带环形隔断的驱动器外壳，驱动器外壳内设有包裹有励磁线圈的超磁致伸缩棒。本发明将三自由度精密定位指向与激振功能同时考虑，通过一套系统可以实现多种功能，方案结构紧凑，定位指向功能解耦，可单独实现所需平动自由度上的微纳尺度运动；由于采用了嵌入式柔顺放大机构，定位指向行程得以放大。同时，通过磁悬浮卸载装置设计，在激振时能够对较大负荷进行卸载处理，从而能够实现振动干扰的准确加载。 | ||
| 搜索关键词： | 三自由度 解耦 驱动器外壳 指向 激振装置 下安装盘 作动元件 超精密 磁悬浮 大行程 负载盘 激振 柔顺 超磁致伸缩棒 平动自由度 尺度运动 方案结构 放大机构 负载部件 环形隔断 精密定位 励磁线圈 卸载处理 卸载装置 振动干扰 大负荷 嵌入式 加载 紧凑 放大 | ||
【主权项】：
1.一种三自由度解耦超精密大行程定位及激振装置，其特征在于，包括上负载盘(1)及下安装盘(5)，上负载盘(1)与下安装盘(5)之间通过中间的磁悬浮负载部件(3)及周围的三个相同的作动元件(2)连接；所述磁悬浮负载部件(3)包括下卸载套筒(304)，下卸载套筒(304)内设有相互排斥的上永磁体(305)及下永磁体(306)，上永磁体(305)与其上方的上滑动槽(302)连接，上滑动槽(302)通过超精密直线轴承(303)固定于下卸载套筒(304)内，上滑动槽(302)的顶部与外螺纹万向球(301)相配合；所述作动元件(2)包括带环形隔断的驱动器外壳(204)，驱动器外壳(204)内设有包裹有励磁线圈(205)的超磁致伸缩棒(207)，超磁致伸缩棒(207)的两端通过磁轭端盖(208)与驱动器外壳(204)连接固定，超磁致伸缩棒(207)的一端连接驱动器输入杆，另一端连接驱动器输出杆(211)，驱动器输出杆(211)与两级柔顺杠杆放大机构(202)的输入端(210)连接；两级柔顺杠杆放大机构(202)的第二级输出梁中部和驱动器外壳(204)底部各设有一个柔顺圆柱球铰(202)，两个柔顺圆柱球铰(202)的外侧设有连接螺栓(209)。
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