[发明专利]一种利用有色冶炼烟气制取电子级硫酸的生产方法

摘要

本发明公开了一种利用有色冶炼烟气制取电子级硫酸的生产方法，本发明为依托有色冶炼制酸系统，使用发烟硫酸对三氧化硫进行吸收，同时对三氧化硫进行两次蒸发，使得冶炼烟气中的杂质被完全去除，硫酸产品纯度达到SEMI‑C12标准。同时，本发明利用系统烟气及硫酸余热进行加热，避免了蒸汽或其他方式加热的不安全性，同时降低了能耗，减少了生产成本。本发明解决了现有技术中有色冶炼烟气无法直接制取电子级硫酸的问题，提供的工艺安全可靠，产品品质能达到集成电路要求的PPT级标准，并可实现大规模连续生产。

主权项

1.一种利用有色冶炼烟气制取电子级硫酸的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)发烟硫酸的制取：将有色冶炼制酸系统中SO₃烟气原料进行过滤、洗涤、除雾过滤、吸收、混合处理，得到发烟硫酸；(2)蒸发处理：将步骤(1)中所述发烟硫酸进行一次蒸发，蒸发出部分SO₃气体以及得到蒸发后的发烟硫酸；将所述SO₃气体经过除雾后冷凝为SO₃液体，随后进行定量二次蒸发，得到高纯度SO₃气体；(3)高纯硫酸的制取：将步骤(2)所得的高纯度SO₃气体进行除沫、除雾、吸收、冷却处理，得高纯硫酸；(4)电子级硫酸的制取：将步骤(3)所得的高纯硫酸进行吹脱处理、三层循环超滤，最终得到电子级硫酸。