[发明专利]一种在金属衬底上制备BaZrS3

摘要

本发明公开了一种在金属衬底上制备BaZrS3太阳能电池薄膜材料的方法，涉及太阳能电池薄膜材料制备领域，包括：称取BaZrO3粉末并硫化处理得到靶材A；将蓝宝石放入磁控溅射系统中镀钨得到衬底B；对靶材A和衬底B进行镀膜得到样品C；将样品C进行热处理得到最终产物BaZrS3太阳能电池薄膜材料。本发明首先制备靶材和金属衬底，然后将制备的靶材和金属衬底放置在脉冲激光沉积设备中溅射镀膜得到样品，然后对样品进行热处理得到最终产物BaZrS3太阳能电池薄膜材料，填补了利用金属衬底制备钙钛矿结构的太阳能电池薄膜材料的空白，对于利用金属衬底制备钙钛矿结构的太阳能电池薄膜材料具有一定的指导意义。

主权项

1.一种在金属衬底上制备BaZrS₃太阳能电池薄膜材料的方法，所述方法包括步骤：S100、称取BaZrO₃粉末并硫化处理得到靶材A；S200、将蓝宝石放入磁控溅射系统中镀钨得到衬底B；S300、对靶材A和衬底B进行镀膜得到样品C；S400、将样品C进行热处理得到最终产物BaZrS₃太阳能电池薄膜材料。