[发明专利]一种AlCr+α-Al2 有效
| 申请号： | 201910264818.7 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN109989044B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 邱万奇;杨宇;程奕天;焦东玲;钟喜春;刘仲武 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C22C30/00;C22C32/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 罗啸秋 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明属于金属及其氧化物涂层技术领域，公开了一种AlCr+α‑Al |
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| 搜索关键词： | 一种 alcr al base sub | ||
【主权项】：
1.一种AlCr+α‑Al2O3溅射靶材，其特征在于：所述溅射靶材由10～20wt％的α‑Al2O3，36.2～40.7wt％的Cr和43.8～49.3wt％的Al组成。
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