[发明专利]一种多尺寸纳米颗粒混合金属膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201910265776.9 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN109979904B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 叶怀宇;刘旭;张国旗 | 申请（专利权）人： | 深圳第三代半导体研究院 |
| 主分类号： | H01L23/488 | 分类号： | H01L23/488;H01L23/532;H01L21/60 |
| 代理公司： | 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 | 代理人： | 彭随丽 |
| 地址： | 518051 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多尺寸纳米颗粒混合膜及其制备方法，包括形成有机包覆层的有机介质材料，所述有机介质材料中配置至少两种尺寸的纳米金属颗粒；通过在大尺寸纳米金属颗粒的间隙中用物理冲击方式打入小尺寸纳米金属颗粒，实现大尺寸纳米铜颗粒间的空隙填充，所述纳米金属颗粒优选使用纳米铜材料，避免现有复合银膜高孔隙率、低热导率、高成本、与Si、SiC基芯片热失配、高电迁移率等问题，提高功率器件整体可靠性性能，同时具备易于装配的特点，可有效降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 纳米 颗粒 混合 金属膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多尺寸纳米颗粒混合金属膜，其特征在于，包括：有机介质材料，形成有机包覆层；所述有机介质材料中配置至少两种尺寸的纳米金属颗粒；用物理冲击方式将小尺寸纳米金属颗粒打入大尺寸纳米金属颗粒的空隙，通过设定物理冲击参数控制打入的小尺寸纳米金属颗粒量。
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