[发明专利]一种纳米金属膜预制模块及其制备方法有效
| 申请号： | 201910265797.0 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN109979905B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 刘旭;叶怀宇;张国旗 | 申请（专利权）人： | 深圳第三代半导体研究院 |
| 主分类号： | H01L23/488 | 分类号： | H01L23/488;H01L23/532;H01L21/60;B22F7/06 |
| 代理公司： | 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 | 代理人： | 彭随丽 |
| 地址： | 518051 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种纳米金属膜预制模块及其制备方法。本发明采用多层、不同尺寸纳米金属颗粒层互叠放置的方式构建互连用纳米铜膜预制模块，在烧结时，小尺寸纳米金属颗粒会移动并填充到大尺寸纳米金属颗粒团簇的缝隙中，有机介质则会挥发，多层膜烧结形成完整的金属互连层，相比较单一结构、单一层数的烧结金属膜，此技术方案将提升铜层的致密性，从而提升了互连层导电导热性质。预制模块具有可定制、易操作等特点。并且本发明优选采用纳米铜材料，可以有效地避免高电子迁移、高热失配、高成本等缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 金属膜 预制 模块 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纳米金属膜预制模块，其特征在于，包括：第一有机介质材料层，第二有机介质材料层；所述第一有机介质材料层中包含第一尺寸纳米金属颗粒，所述第一有机介质材料层中包含第二尺寸纳米金属颗粒；所述第一尺寸纳米金属颗粒与第二尺寸纳米金属颗粒直径不同。
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