[发明专利]装载端口以及EFEM

摘要

本发明提供装载端口及EFEM，实现门清洗处理所需的时间的缩短且不使导致搬运对象物即晶片的性能变化的不希望的气体流入搬运室内的构造。具备密封配置于基座(21)前方预定位置的(FOUP4)与基座(21)之间的第一密封部(5)、密封处于封闭开口部(21a)的关闭状态的装载端口门(22)与基座(21)之间的第二密封部(6)及气体注入部(71)，在将容器门与装载端口门(22)的间隙且由第一密封部(5)及第二密封部(6)分隔的密闭空间(DS)置换为气体的门清洗处理时通过使密闭空间(DS)处于正压使第一密封部5的优先敞开部分(X)比第二密封部(6)优先敞开，能通过该敞开的部分至少排出密闭空间(DS)的气体。

主权项

1.一种装载端口，其特征在于，具备：基座，其构成将搬运空间与外部空间隔离的壁的一部分，并且具有能够使搬运对象物通过的开口部；装载端口门，其能够与容纳上述搬运对象物的容器所具有的容器门卡合，并且能够开闭上述基座的上述开口部；第一密封部，其对配置在上述基座的前方的预定位置的容器与该基座之间进行密封；以及第二密封部，其对处于封闭了上述开口部的关闭状态的上述装载端口门与上述基座之间进行密封，构成为，在上述装载端口门处于上述关闭状态且经由上述第一密封部使上述容器与上述基座抵接的状态下，使上述装载端口门与上述容器门隔着预定尺寸的间隙而对置的空间成为由上述第一密封部以及上述第二密封部分隔出的密闭空间，还具备相对于上述密闭空间注入气体的气体注入部，构成为，将上述第一密封部的一部分或者全部设定为在将上述密闭空间置换为上述气体的门清洗处理时通过使上述密闭空间处于正压而比上述第二密封部优先敞开的优先敞开部分，能够通过该优先敞开部分至少排出上述密闭空间的上述气体。