[发明专利]气体喷淋头、制作方法及包括气体喷淋头的等离子体装置在审
| 申请号： | 201910269600.0 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN111785604A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 倪图强;徐朝阳;江家玮 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体喷淋头、制作方法及包括气体喷淋头的等离子体装置，所述气体喷淋头包括一背板及一气体分布板，所述气体分布板上包括若干具有以所述圆心为圆心的环形气体分布区；每一环形气体分布区上设置多个贯穿所述进气面和所述出气面的气体通孔，所述气体通孔至少包括沿径向倾斜一定角度的多个第一气体通孔，所述气体通孔还包括多个第二气体通孔，所述第二气体通孔与所述中心轴线平行或与所述第一气体通孔具有不同的径向倾斜方向；所述同一环形气体分布区中第一气体通孔和第二气体通孔中流出的气体互相远离。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 喷淋 制作方法 包括 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
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