[发明专利]光配向设备以及光配向方法有效
| 申请号： | 201910272188.8 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN111781773B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 魏礼俊;刘晓;李玉龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337;G02B26/10 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种光配向设备以及光配向方法。通过设置可转动反射镜，以利用可转动反射镜实现投射出的光束的扫描范围能够覆盖整个基板。因此，在执行光配向时，并不需要移动基板或偏振光发生装置，有效提高了光配向过程中的稳定性，从而有利于提高光配向精度。并且，由于基板在光配向时不需要移动，相应的不需要预留基板台横向移动的空间，从而可以进一步减小光配向设备的体积和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
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