[发明专利]一种薄膜纵向不均匀性检测方法、装置及终端和检测系统在审
| 申请号： | 201910273286.3 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN111781148A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 孙瑶;钟大龙;王新宇 | 申请（专利权）人： | 神华（北京）光伏科技研发有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/27 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 王崇 |
| 地址： | 102209 北京市昌平区北七家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜纵向不均匀性检测方法、装置、检测系统以及终端，涉及薄膜检测技术领域，以提高无损检测薄膜纵向不均匀性方法的适用范围。该薄膜纵向不均匀性检测方法包括：接收被测样品的椭偏光谱曲线信息，被测样品至少包括被测薄膜；根据被测样品的特性建立各向同性的物理模型，物理模型至少包括薄膜模型；将薄膜模型所含有的至少一个变量参数转换为梯度化变量参数；以被测样品的椭偏光谱曲线信息为曲线拟合目标，利用薄膜模型对梯度化变量参数进行曲线拟合，获得被测样品的光电参数在被测样品纵向方向上的变化曲线信息；根据变化曲线信息确定被测样品的纵向不均匀性。本发明用于薄膜纵向不均匀性检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 纵向 不均匀 检测 方法 装置 终端 系统 | ||
【主权项】：
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