[发明专利]一种用于提高光电探测器光谱响应度的多层结构在审
| 申请号： | 201910274292.0 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN109994611A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 孟彦龙;檀珺;徐恺 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | H01L51/42 | 分类号： | H01L51/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种用于提高光电探测器光谱响应度的多层结构。该结构由衬底上依次沉积的底层金属层1、由1~N个子层构成的源层2、金属层3和顶部介质层4组成。底层金属层1与金属层3以及中间源层2构成一种光电探测器结构，顶部介质层4作为光学优化层与光电探测器相耦合，能够实现不同波段光波长的完美吸收，从而提高光电探测器对该波段光谱的光谱响应度。通过合理设计各层的厚度配比，并调节源层2的厚度可实现对不同波长光的完美吸收，减少反射系数，提高全波段的光谱响应度。该结构简单，容易制备，有助于提高现有光电探测器的光谱响应度。 | ||
| 搜索关键词： | 光电探测器 光谱响应度 源层 底层金属层 顶部介质层 多层结构 金属层 光电探测器结构 波段光谱 反射系数 光学优化 厚度配比 波长光 光波长 全波段 相耦合 波段 衬底 沉积 吸收 制备 | ||
【主权项】：
1.一种用于提高光电探测器光谱响应度的多层结构，其特征在于，基底上依次沉积的底层金属层1、由1~N个子层构成的源层2、金属层3和顶部介质层4组成，底层金属层1与金属层3以及中间源层2构成一种光电探测器结构，顶部介质层4作为光学优化层与光电探测器相耦合。
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