[发明专利]一种具有防离子反馈膜的微通道板的制备方法有效
| 申请号： | 201910275811.5 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN110010431B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 刘欢;刘卫国;白民宇;安妍;韩军;刘蓉;王卓曼;蔡长龙 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | H01J9/00 | 分类号： | H01J9/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 何会侠 |
| 地址： | 710021 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种具有防离子反馈膜的微通道板的制备方法，包括以下步骤：对微通道板基体进行预处理；在微通道板基体的上端面用原子层沉积法制备防离子反馈膜；从微通道板基体的下端面采用刻蚀工艺制备微通道孔；在微通道孔的内壁上依次制备绝缘层、导电层和二次电子发射层；去除刻蚀所用掩蔽层，得到具有防离子反馈膜的微通道板；本发明在微通道板基体的上端面上沉积制备防离子反馈膜，在下端面刻蚀微通道孔，在微通道孔刻蚀贯穿前制备防离子反馈膜，所制备的防离子反馈膜厚度在原子层尺度精确控制，可实现防离子反馈膜对电子的透射性能和对阳离子的阻隔性能的良好匹配；本发明方法可以避免微通道板受到污染，并且其端面的防离子反馈膜质量高，整体工艺简单，成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 离子 反馈 通道 制备 方法 | ||
【主权项】：
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