[发明专利]一种基板显影方法和基板显影装置

摘要

本申请涉及一种基板显影方法和基板显影装置，该基板显影方法包括：获取显影指令，显影指令携带基板所需的显影时长和显影开始时刻；根据显影开始时刻和显影时长，确定第一补液时刻和第二补液时刻，第一补液时刻在显影开始时刻之前，第二补液时刻在显影开始时刻之后；在第一补液时刻，向显影槽注入第一预设浓度显影液，以增大显影槽内显影液的浓度；在显影开始时刻，将基板放入显影槽中进行显影；在显影过程中，在第二补液时刻，向显影槽注入第二预设浓度显影液，以减小显影槽内显影液的浓度。通过这种方式，能够在显影开始或结束时避免由于显影液浓度波动较大而导致显影设备宕机以及产能下降的问题。

主权项

1.一种基板显影方法，其特征在于，包括：获取显影指令，所述显影指令携带基板所需的显影时长和显影开始时刻；根据所述显影开始时刻和所述显示时长，确定第一补液时刻和第二补液时刻，所述第一补液时刻在所述显影开始时刻之前，所述第二补液时刻在所述显影开始时刻之后；在所述第一补液时刻，向显影槽注入第一预设浓度显影液，以增大所述显影槽内显影液的浓度；在所述显影开始时刻，将所述基板放入所述显影槽中进行显影；在显影过程中，在所述第二补液时刻，向所述显影槽注入第二预设浓度显影液，以减小所述显影槽内显影液的浓度。