[发明专利]一种TBC太阳能电池结构及其制备方法

摘要

本发明的目的在于公开一种TBC太阳能电池结构及其制备方法，与现有技术相比，用P型掺杂的TOPCon结构、N型掺杂的TOPCon结构分别替代IBC电池的P型晶硅掺杂层和N型晶硅掺杂层，提高对N型基体背表面的钝化效果，并降低背面正负副栅线电极金属接触区域的金属复合和接触电阻，有效提高电池光电转换效率；P型掺杂的TOPCon结构与N型掺杂的TOPCon结构之间采用本征TOPCon结构做隔离，有效降低P型掺杂的TOPCon结构与N型掺杂的TOPCon结构之间的反向饱和暗电流，提高电池开路电压，有效控制生产成本，提高生产效率，实现本发明的目的。

主权项

1.一种TBC太阳能电池结构及其制备方法，其特征在于，它包括硅片基体，所述硅片基体的前表面依次设置前表面场和前表面钝化减反射层，所述硅片基体的背面依次设置有隧穿氧化层和背面钝化层，所述隧穿氧化层和所述背面钝化层之间设置有N+掺杂的多晶硅/非晶硅、本征多晶硅/非晶硅和P+掺杂的多晶硅/非晶硅，所述背面钝化层的背面分别设置有正电极副栅线和负电极副栅线。