[发明专利]存储器装置及其制造方法有效
申请号: | 201910279365.5 | 申请日: | 2019-04-09 |
公开(公告)号: | CN111799370B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 吴伯伦;蔡世宁;许博砚 | 申请(专利权)人: | 华邦电子股份有限公司 |
主分类号: | H10N70/20 | 分类号: | H10N70/20;H10B63/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 王涛;任默闻 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种存储器装置及其制造方法,存储器装置包含第一电极、电阻转态层、盖层、保护层以及第二电极。电阻转态层设置于第一电极上方。盖层设置于电阻转态层上方,其中盖层的底表面小于电阻转态层的顶表面。保护层设置于电阻转态层上方且环绕盖层。第二电极的至少一部分设置于盖层上方且覆盖保护层。本发明可通过在存储器装置设置环绕盖层的保护层,以避免后续制造工艺损伤盖层,进而改善存储器装置的可靠度并增加制造工艺宽裕度。 | ||
搜索关键词: | 存储器 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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