[发明专利]一种用于硅基空间光调制器的测试芯片在审
申请号: | 201910283625.6 | 申请日: | 2019-04-10 |
公开(公告)号: | CN109765707A | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 陈弈星;何军 | 申请(专利权)人: | 南京芯视元电子有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/1343;G09G3/00 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 耿英;董建林 |
地址: | 210012 江苏省南京市雨花*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提出来一种用于硅基空间光调制器的测试芯片,属于微显示器领域。该测试芯片的主要结构包括硅基底层、液晶配位层、液晶层和ITO玻璃层,其中硅基底上的像素电极层可以在有效显示区域划分为若干种测试区域,在每种测试区域设计不同的像素图案和测试区,这些测试区可以通过开发板控制点亮显示用于测试,通过监控相应的参数如有边缘场效应、衍射效率、液晶等效电容和寄生电容、电压保持率、直流残余电压,以及它们引起的闪烁现象等,根据测试结果,为优化产品设计以及工艺设计做参考。 | ||
搜索关键词: | 测试芯片 硅基 空间光调制器 测试区域 测试区 液晶 有效显示区域 控制点 边缘场效应 电压保持率 像素电极层 残余电压 产品设计 等效电容 工艺设计 硅基底层 寄生电容 闪烁现象 微显示器 像素图案 衍射效率 开发板 亮显示 配位层 液晶层 测试 参考 监控 优化 | ||
【主权项】:
1.一种用于硅基空间光调制器的测试芯片,其特征在于,包括依次层叠的硅基底层、第一液晶配位层、液晶层、第二液晶配位层和ITO玻璃层,其中,将硅基底层上的像素电极层在有效显示区域划分为若干种测试区域,每种测试区域包括至少一个测试单元,每种测试区域具有不同的测试图案或测试电路。
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