[发明专利]电子束蒸镀器和用于借助电子束对蒸镀物进行蒸镀的方法有效
| 申请号： | 201910283961.0 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN110373635B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 卡斯滕·迪乌斯 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王小衡;王朝辉 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 根据不同的实施形式，描述了电子束蒸镀器(100)和用于借助电子束对蒸镀物进行蒸镀的方法(300)。该方法可以具有：至少在棒形的蒸镀物的端面上产生第一偏转模式，其具有第一功率密度；和接着在棒形的蒸镀物的外棱边的部段上和在环形坩埚的内棱边的部段上产生第二偏转模式，其具有第二功率密度，所述环形坩埚包围棒形的蒸镀物，其中第二功率密度大于第一功率密度。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 蒸镀器 用于 借助 蒸镀物 进行 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子束蒸镀器(100)，用于对蒸镀物进行蒸镀，所述电子束蒸镀器(100)具有：·用于产生电子束(102e)的电子束源(102q)；·用于偏转所述电子束(102e)的偏转设备(102a)；·具有穿通开口(104d)的环形坩埚(104)；·棒(106)，其至少分部段地设置在所述穿通开口(104d)中并且具有蒸镀物(106g)，其中所述棒(106)的外棱边(106a)与所述环形坩埚(104)的内棱边(104i)邻接，以及·控制设备(108)，用于借助偏转设备(102a)控制对电子束的偏转，其中所述控制设备(108)配置为，借助电子束(102a)交替地产生第一偏转模式(118a)和第二偏转模式(118b)，其中第一偏转模式(118a)具有比第二偏转模式(118b)更小的功率密度，其中第一偏转模式(118a)至少在棒(106)上产生并且其中第二偏转模式(118b)在棒(106)的外棱边(106a)的部段(106a‑k)上和在环形坩埚(104)的内棱边(104i)的部段(104i‑k)上产生。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于冯·阿登纳资产股份有限公司，未经冯·阿登纳资产股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910283961.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种蒸镀装置
- 下一篇：一种硅化钼过渡金属化合物薄膜材料的制备方法
- 同类专利
- 专利分类
