[发明专利]负性光敏性聚酰胺酸酯树脂、树脂组合物、其制备方法及应用在审
| 申请号： | 201910284351.2 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN110028669A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 陈兴;刘洋 | 申请（专利权）人： | 明士新材料有限公司 |
| 主分类号： | C08G73/12 | 分类号： | C08G73/12;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/16 |
| 代理公司： | 济南信达专利事务所有限公司 37100 | 代理人： | 罗文曌 |
| 地址： | 250204 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种负性光敏性聚酰胺酸酯树脂、树脂组合物、其制备方法及应用，属于功能高分子材料领域。所述负性光敏性聚酰胺酸酯树脂由脂环式四羧酸二酐、不饱和双键醇类化合物、以及含有醚基、酯基或氟的芳香族二胺和分子量调节剂制备而成。包括该负性光敏性聚酰胺酸酯树脂的树脂组合物经曝光、显影、热固化后，得到的聚酰亚胺薄膜具有高透明度、高分辨率等特点，同时具有低介电常数、低介电损耗、低吸水率与优良的热稳定性等优点，在半导体制造领域具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 聚酰胺酸酯树脂 光敏性 负性 树脂组合物 制备 脂环式四羧酸二酐 半导体制造领域 功能高分子材料 应用 分子量调节剂 聚酰亚胺薄膜 不饱和双键 醇类化合物 低介电常数 低介电损耗 芳香族二胺 低吸水率 高分辨率 高透明度 热稳定性 热固化 醚基 显影 酯基 曝光 | ||
【主权项】：
1.负性光敏性聚酰胺酸酯树脂，其特征在于由脂环式四羧酸二酐、不饱和双键醇类化合物、以及含有醚基、酯基或氟的芳香族二胺和分子量调节剂制备而成。
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