[发明专利]一种双掺杂铜锌锡硫薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910285172.0 申请日: 2019-04-10
公开(公告)号: CN109904259B 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 许佳雄;邱磊;庄楚楠;谢致薇;杨元政 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: H01L31/032 分类号: H01L31/032;H01L31/18
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 张春水;唐京桥
地址: 510060 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及光电材料技术领域,尤其涉及一种双掺杂铜锌锡硫薄膜及其制备方法。本发明公开了一种双掺杂铜锌锡硫薄膜的制备方法,该制备方法简单,制备过程中共使用三次超声处理,使得各反应原料可以完全溶解成均一的溶液,从而制备出的前驱体溶胶体系更加稳定,能够长期保存。另外,该制备方法制备得到的铜锌锡硫薄膜为双掺杂铜锌锡硫薄膜。该薄膜缺陷少,颗粒大,结晶度和吸收系数高,解决了现有的铜锌锡硫薄膜的颗粒过小且缺陷多的问题。
搜索关键词: 一种 掺杂 铜锌锡硫 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种双掺杂铜锌锡硫薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:将含锡化合物、含铜化合物、含锌化合物和含第一掺杂金属化合物溶于第一有机溶剂中,进行第一超声处理,得到第一溶液;步骤2:将含第二掺杂金属化合物和含硫化合物溶于第二有机溶剂中,进行第二超声处理,得到第二溶液;步骤3:将所述第一溶液和所述第二溶液混合后进行第三超声处理,得到前驱体溶胶;步骤4:将所述前驱体溶胶旋凃到衬底上,进行硫化,得到双掺杂铜锌锡硫薄膜;所述含第一掺杂金属化合物中的第一掺杂金属为锰、镉、铁、镁或钴,所述含第二掺杂金属化合物中的第二掺杂金属为银或锂。
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