[发明专利]一种碱性蚀刻液再生及其铜回收方法

摘要

本发明公开了一种碱性蚀刻液再生及其铜回收方法，包括以下步骤：(1)蚀刻废液产生；(2)电解：电解蚀刻废液，获得阴极铜板，再生液流回循环冷凝槽；(3)再生液收集与调配：调配后形成的蚀刻再生液回流至蚀刻生产线中使用，同时执行步骤(4)；(4)酸洗：将阴极铜板移至酸性中和槽中，酸性溶液将阴极铜板表面液体中和掉；(5)一道水洗：将阴极铜板移至一道水洗槽中，清水将阴极铜板表面液体清洗掉；(6)抗氧化：将阴极铜板移至抗氧化槽中，抗氧化剂溶液对阴极铜板表面进行抗氧化处理，在其表面附着抗氧化层，移出，将铜从阴极板上拆下。本发明提供的碱性蚀刻液再生及其铜回收方法，可实现蚀刻废液完全循环再生、及高纯度铜高效回收。

主权项

1.一种碱性蚀刻液再生及其铜回收方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)蚀刻废液产生：由蚀刻生产线产生的蚀刻废液储存于废液收集槽中，废液收集槽中的蚀刻废液添加至循环冷凝槽中，循环冷凝槽中的蚀刻废液添加至电解槽中；(2)电解：由电解槽对蚀刻废液进行电解，在阴极板表面上沉积铜层，获得阴极铜板，同时，产生的再生液在液位高于预设值时流回至循环冷凝槽中；(3)再生液收集与调配：将循环冷凝槽中的再生液收集至再生液收集槽中，然后对再生液收集槽中的再生液进行Cu²⁺、NH₄⁺、Cl^‑与PH值化验，根据化验结果确定所需添加的氨与氯化铵的量，使形成的蚀刻再生液符合蚀刻需求，再回流至蚀刻生产线中使用，于此同时执行步骤(4)；(4)酸洗：将阴极铜板移至酸性中和槽中，酸性中和槽中的酸性溶液将阴极铜板表面残留的碱性液体中和掉；(5)一道水洗：将阴极铜板移至一道水洗槽中，一道水洗槽中的清水将阴极铜板表面残留的酸性液体清洗掉；(6)抗氧化：将阴极铜板移至抗氧化槽中，抗氧化槽中的抗氧化剂溶液对阴极铜板表面进行抗氧化处理，在阴极铜板表面附着一抗氧化层，最后将附着有抗氧化层的阴极铜板移出，并将铜从阴极板上拆下即可。