[发明专利]一种动态相位变形干涉测量装置及方法有效
| 申请号： | 201910285634.9 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN110017794B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 李建欣;宗毅;段明亮;陈国梁;卢文倩;朱日宏;陈磊;何勇;郭仁慧;马俊 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 马鲁晋 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种动态相位变形干涉测量装置及方法，该装置包括：用于产生一对正交偏振光的泰曼‑格林式干涉测量系统，用于产生参考光的参考光路，用于产生测试光的测试光路，用于对参考光和测试光分别进行分束，获得两对参考光和测试光的分光系统，用于对某一对参考光和测试光附加载频的载频环路系统，用于实现另一对参考光和测试光至成像系统的光程与所述某一对参考光和测试光经载频环路系统至成像系统的光程相同的测试环路系统，用于获取干涉信息，并对被测件成像的成像系统。本发明能有效降低环境振动和大气湍流对波前测量的影响，且具有系统复杂度低、测量速度快等优点，可有效用于复杂环境下对光学面形的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 相位 变形 干涉 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种动态相位变形干涉测量装置，其特征在于，包括：泰曼‑格林式干涉测量系统(26)，用于产生一对正交偏振光，所述正交偏振光包括s波和p波；参考光路(27)，用于产生参考光；测试光路(28)，用于产生测试光；分光系统(29)，用于对参考光和测试光分别进行分束，获得两对参考光和测试光；载频环路系统(30)，用于对某一对参考光和测试光附加载频；测试环路系统(31)，用于实现另一对参考光和测试光至成像系统的光程与所述某一对参考光和测试光经载频环路系统(30)至成像系统的光程相同；成像系统(32)，用于获取干涉信息，并对被测件成像。
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