[发明专利]一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置有效
| 申请号： | 201910287022.3 | 申请日： | 2019-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN109932782B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 代俊;李凯权;吴娇娇;常辉;熊壮;谢晋;隋丽;石庚辰 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，属于引信全电子安全系统领域。本发明公开一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，主要由输入光纤、输出光纤、可动式微镜、电热保险机构和电热驱动机构组成。MOEMS光开关的通和断是通过固定式光纤和可动式微镜组成的反射式光路的通和断实现，可动式微镜的运动通过电热驱动器机构实现，微镜上设计有保险槽和定位槽，利用电热保险机构卡入保险槽和定位槽实现对微镜的保险和定位，确保MOEMS光开关的通或断状态。本发明要解决的技术问题为：解决引信全电子安全系统电磁兼容性差的问题，具有下述优点：(1)结构尺寸小；(2)抗过载能力强；(3)电磁兼容性好；(4)工作可靠、适用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电热 驱动 式微 moems 开关 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，其特征在于：主要由输入光纤(1)、输出光纤(2)、可动式微镜(3)、电热保险机构(4)和电热驱动机构(5)组成；其中，输入光纤(1)和输出光纤(2)为固定式光纤，可动式微镜(3)属于可动部件。输入光纤(1)和输出光纤(2)处于基片上的槽内，可动式微镜(3)上设计有保险槽(6)、定位槽(7)和驱动槽(8)。输入光纤(1)和输出光纤(2)分别与光发射单元和光接收单元相连接，固定式光纤和可动式微镜(3)组成光反射回路。
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