[发明专利]铜离子处理系统及其废水处理系统在审
| 申请号： | 201910288975.1 | 申请日： | 2019-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN110040872A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 李金城;吴豪旭 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04;C02F101/20;C02F103/16 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种铜离子处理系统及其废水处理系统，铜离子处理系统包括：蚀刻机台，用以利用铜蚀刻液进行蚀刻制程；中和单元，与蚀刻机台连通，用以收集并中和来自蚀刻机台的铜蚀刻液；铜离子去除单元，与中和单元连通，用于收集来自中和单元之经中和的铜蚀刻液，将铜离子自铜蚀刻液中分离；以及铜蚀刻液的补充单元，与铜离子去除单元以及蚀刻机台连通，用以接收来自铜离子去除单元的铜蚀刻液，并调整铜蚀刻液的比例后，传送回蚀刻机台以进行蚀刻制程；废水处理系统，包括：废水回收单元；废水中和单元；以及废水铜离子去除单元。 | ||
| 搜索关键词： | 铜蚀刻液 铜离子去除 蚀刻机台 铜离子 废水处理系统 处理系统 中和单元 连通 蚀刻制程 废水回收单元 机台 补充单元 废水中和 并中和 回蚀刻 传送 废水 中和 | ||
【主权项】：
1.一种铜离子处理系统，包括：一蚀刻机台，用以利用一铜蚀刻液进行一蚀刻制程；一中和单元，与所述蚀刻机台连通，用以收集并中和来自所述蚀刻机台的所述铜蚀刻液；一铜离子去除单元，与所述中和单元连通，用于收集来自所述中和单元之经中和的铜蚀刻液，其中，所述铜离子去除单元包括一轮烷类化合物，所述轮烷类化合物与经中和的铜蚀刻液中的铜离子结合后，形成一产物，使该产物自铜蚀刻液中分离；以及一铜蚀刻液的补充单元，与所述铜离子去除单元以及所述蚀刻机台连通，用以接收来自所述铜离子去除单元的铜蚀刻液，并调整所述铜蚀刻液的比例后，传送回所述蚀刻机台以进行所述蚀刻制程。
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