[发明专利]生成等离子体的方法

摘要

本发明提供一种生成等离子体的方法，能够快速抑制高频电力的反射。在一个实施方式的方法中，从高频电源经由匹配器向电极供给高频电力，以在腔室中生成等离子体。在供给高频电力的期间，根据反映腔室内的等离子体的产生的一个以上的参数来判定在腔室内是否生成了等离子体。在判定为没有生成等离子体的情况下，调整由高频电源输出的高频电力的频率，以将高频电源的负载侧电的抗设定为零或者使该负载侧的电抗接近零。

主权项

1.一种生成等离子体的方法，用于在等离子体处理装置的腔室内生成等离子体，所述等离子体处理装置具备：腔室；高频电源；电极，其与所述高频电源电连接，以在所述腔室内生成等离子体；以及匹配器，其设置在所述高频电源与所述电极之间，以使所述高频电源的负载侧的阻抗与所述高频电源的输出阻抗匹配，其中，所述匹配器具有：彼此并联连接的多个第一串联电路，各所述第一串联电路分别包括电容器以及与该电容器串联连接的开关元件；以及彼此并联连接的多个第二串联电路，各所述第二串联电路分别包括电容器以及与该电容器串联连接的开关元件，该方法包括以下工序：从所述高频电源经由所述匹配器向所述电极供给高频电力，以在所述腔室中生成等离子体；在供给所述高频电力的所述工序的执行期间，根据反映所述腔室内的等离子体的产生的一个以上的参数来判定在所述腔室内是否生成了等离子体；以及利用所述匹配器使所述负载侧的阻抗与所述高频电源的输出阻抗匹配，其中，在进行判定的所述工序中判定为在所述腔室内没有生成等离子体的情况下，执行以下工序：调整由所述高频电源输出的所述高频电力的频率，以将所述高频电源的所述负载侧的电抗设定为零或者使该负载侧的电抗接近零。