[发明专利]一种选通管器件的预处理方法

摘要

本发明公开了一种选通管器件的预处理方法，包括:(1)通过选取电压扫描范围且设置第一限制电流Icc1，对选通管进行第一次电压扫描，获取选通管亚阈值区域的阻态R1；(2)根据第n‑1次电压扫描后的选通管亚阈值区域的阻态Rn‑1，设置第n限制电流Icc(n)，并对选通管进行第n次电压扫描，获取其亚阈值区域的阻态Rn；其中，Icc(n‑1)＜Icc(n)，n的初始值为2；(3)在读电压下，若第n次电压扫描后的选通管器件的亚阈值区域的阻态大于第一次电压扫描后的选通管器件的亚阈值区域的阻态，则停止对选通管器件的电压扫描；否则，n＝n+1，转至步骤(2)。本发明同时提高了选通管的开态电流和开关比，进而提高了选通管的性能使其在存储器件中的应用更广泛。

主权项

1.一种选通管器件的预处理方法，其特征在于，包括：(1)通过选取电压扫描范围且设置第一限制电流I_cc1，对选通管进行第一次电压扫描，获取其亚阈值区域的阻态R₁；(2)根据第n‑1次电压扫描后的选通管亚阈值区域的阻态R_n‑1，设置第n限制电流I_cc(n)，并对选通管进行第n次电压扫描，获取其亚阈值区域的阻态R_n，其中，I_cc(n‑1)＜I_cc(n)，n的初始值为2；(3)在读电压下，若第n次电压扫描后选通管器件的高阻态阻值大于第一次电压扫描后的选通管器件的高阻态阻值，则停止对选通管器件的电压扫描；否则，n＝n+1，转至步骤(2)。