[发明专利]光致抗蚀剂剥离剂有效
| 申请号： | 201910295979.2 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN110376854B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | R·D·彼得斯;曹远美 | 申请（专利权）人： | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华;徐志明 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了用于从衬底除去光致抗蚀剂的改进的剥离剂溶液，其表现出与铜、无铅焊料和环氧基模塑料的改善的相容性。该剥离剂溶液包含主要溶剂、次要二醇醚溶剂、氢氧化钾和胺。该溶液还表现出与含有氢氧化钾的常规制剂相比减少的碳酸钾晶体形成，和与含四甲基氢氧化铵的制剂相比延长的浴寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种用于从衬底除去光致抗蚀剂的剥离剂溶液，其包含：约20重量％至约90重量％的主要溶剂；约5重量％至约50重量％的次要溶剂；约1重量％至约7重量％的无机碱；约1重量％至约30重量％的胺；约0.0001重量％至约10重量％的腐蚀抑制剂；其中所述溶液表现出高于约90摄氏度的闪点；和其中所述溶液基本上不含季铵氢氧化物。
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