[发明专利]一种皮秒激光高功率增透膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201910297057.5 | 申请日： | 2019-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN110007377A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 李全民;王泽栋;朱敏;王国力;吴玉堂 | 申请（专利权）人： | 南京波长光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;C23C14/54;C23C14/30;C23C14/14;C23C14/10;C23C14/06 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211121 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种皮秒激光高功率增透膜及其制备方法，一种皮秒激光高功率增透膜，包括基底层，基底层上交替沉积有Hf层和SiO2层，Hf层和SiO2层的层数相等。本发明皮秒激光高功率增透膜，通过膜材料及结构的改进，在1064波段透过率可达99.8％以上，650波段透过率可达98％以上，具有较高的激光损伤阈值，同时又具有高耐磨强度和高附着力，稳定性好，可满足目前激光领域的一些高端应用；制备重复性好，过程简单易操作、易控制。 | ||
| 搜索关键词： | 高功率 增透膜 激光 种皮 制备 基底层 透过率 波段 高端应用 高附着力 激光领域 激光损伤 交替沉积 高耐磨 膜材料 相等 改进 | ||
【主权项】：
1.一种皮秒激光高功率增透膜，其特征在于：包括基底层，基底层上交替沉积有Hf层和SiO2层，Hf层和SiO2层的层数相等。
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