[发明专利]干涉差动位移法微小力控制系统

摘要

本发明公开的干涉差动位移法微小力控制系统，属于精密测量技术领域。本发明主要由控制及信息输出模块、光学测量模块、微小力发生模块组成。控制及信息输出模块用于测量光学测量信号，微小力发生、解算、控制及信号的外部通讯。光学测量模块用于将测量值及计算控制值与微小力值建立相互的对应关系，综合计算输出微小力的数据。微小力发生模块利用静电力方法，采用梳齿结构提高静电力获得微小力值的分辨能力和范围。本发明能够在微小力值的多种环境条件，通过干涉方法准确微小力值发生的位移变化进而确定微小力值的大小。本发明具有较高适应性和准确性，结构紧凑。和量值度量。

主权项

1.干涉差动位移法微小力控制系统，其特征在于：主要由控制及信息输出模块(1)、光学测量模块(2)、微小力发生模块(3)组成；控制及信息输出模块(1)用于测量光学测量信号，微小力发生、解算、控制及信号的外部通讯；光学测量模块(2)用于将测量值及计算控制值与微小力值建立相互的对应关系，综合计算输出微小力的数据；微小力发生模块(3)利用静电力方法，采用梳齿结构提高静电力获得微小力值的分辨能力和范围；所述的干涉差动位移法微小力控制系统通过控制静电力的变化，利用结构的弹性形变的方法产生微小力值，光学测量模块(2)采用激光干涉测量方法作为微小力值闭环控制测量单元，通过测量弹性形变产生的位移变化间接获取微小力值，其中在微小位移恒定时，加载电压的平方和微小力值呈线性关系；当加载电压恒定时，微小力值与微小位移呈线性关系；工作中，激光干涉测量采用差动测量方法以提高测量的准确性，并实现确定微小力的量值输出控制和复现。