[发明专利]显示装置制造设备在审
| 申请号： | 201910298523.1 | 申请日： | 2019-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN110444695A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 柳海永;金太钟;李珠熙;许明洙;朴在圭;朱儇佑 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李强;李英艳 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本公开涉及一种显示装置制造设备。所述显示装置制造设备包括：室；支架，所述支架布置在所述室中并且支撑基底；电极，所述电极布置在所述室中以面对所述支架；气体供应部，所述气体供应部被配置为将用于工艺的气体供应到所述室中；第一挡板，所述第一挡板布置在所述支架的边缘处并且具有至少一个第一通孔；以及第二挡板，所述第二挡板布置在所述第一挡板和所述室之间并且在平面图中覆盖所述至少一个第一通孔以改变从所述室排放的工艺副产物的路径。 | ||
| 搜索关键词： | 第一挡板 显示装置 制造设备 支架 气体供应部 第二挡板 通孔 工艺副产物 电极布置 气体供应 支架布置 边缘处 支撑基 电极 排放 覆盖 配置 | ||
【主权项】：
1.一种显示装置制造设备，其中，所述显示装置制造设备包括：室；支架，所述支架布置在所述室中并且支撑基底；电极，所述电极布置在所述室中以面对所述支架；气体供应部，所述气体供应部被配置为将用于工艺的气体供应到所述室中；第一挡板，所述第一挡板布置在所述支架的边缘处并且具有至少一个第一通孔；以及第二挡板，所述第二挡板布置在所述第一挡板和所述室之间，并且在平面图中覆盖所述至少一个第一通孔以改变从所述室排放的工艺副产物的路径。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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