[发明专利]一种制备纳米尺寸金属薄膜图形的方法

摘要

本发明提供一种制备纳米尺寸金属薄膜图形的方法，包括以下步骤：A.在基片上制备光刻胶图形；B.在所述步骤A得到的覆盖有光刻胶图形的基片上沉积金属薄膜，得到沉积有金属薄膜的基片；C.将所述步骤B得到的沉积有金属薄膜的基片放入剥离液中，剥离金属，得到带金属翘边的产品；D.将所述步骤C得到的产品的与空气接触的金属薄膜部分进行氧化，得到带金属翘边的氧化后的产品；E.将所述步骤D得到的带金属翘边的氧化后的产品放入腐蚀液中，以去除金属翘边。本发明的制备方法适用性强、成本低以及工艺过程简单，能够完全消除金属剥离工艺中的翘边，提高了剥离后金属薄膜的平整度。