[发明专利]一种光电芯片的封装结构有效

专利信息
申请号: 201910302172.7 申请日: 2019-04-15
公开(公告)号: CN110335850B 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 李明;刘大鹏;宋琦;石暖暖;祝宁华 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L23/13 分类号: H01L23/13;H01L23/14;H01L23/367;H01L23/373;H01L23/38
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周天宇
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种光电芯片的封装结构,包括:制冷器(1),用于控制芯片的温度在第一预设范围内;热沉(2),设置在制冷器(1)上,热沉(2)上设置有第一光纤孔位(3)、芯片放置槽(4)、第二光纤孔位(5)和热敏电阻孔位(6),芯片放置槽(4)用于放置芯片,第一光纤孔位(3)、第二光纤孔位(5)和热敏电阻孔位(6)均与芯片放置槽(4)连通;基板(7),设置在热沉(2)上,基板(7)上设置有直流导线(8)、第一微带线(9)、电极孔(10)、第二微带线(11),电极孔(10)的孔位与芯片的电极一一对准,直流导线(8)、第一微带线(9)和第二微带线(11)均连接至电极孔(10)。通过对准电极孔与芯片电极,保证芯片的高频特性。
搜索关键词: 一种 光电 芯片 封装 结构
【主权项】:
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