[发明专利]一种电容器及其形成方法在审
| 申请号： | 201910302712.1 | 申请日： | 2019-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111834527A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 胡连峰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 上海德禾翰通律师事务所 31319 | 代理人： | 侯莉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电容器的形成方法，包括以下步骤：提供第一金属层，在第一金属层上形成具有间隔的第一极板层图案；在第一极板层图案的侧壁及第一极板层图案远离第一金属层的一侧，沿远离第一极板层图案的方向依次沉积介质层和第二极板层图案；在第一金属层上的第二极板层图案的间隔中形成具有通孔的隔离层；在通孔内沉积第二金属层，第二金属层分别与第二极板层图案和第一金属层接触。采用本发明提供的电容器的形成方法制造出的电容器的重复率和成功率较高，且采用该方法制造出来的电容器，呈现立体三维结构，可有效提升电容器的密度，继而提升电容器的电容值。本发明还提供一种电容器，解决现有技术中电容器呈平板结构，因而电容值较小的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容器 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
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