[发明专利]基板烘烤设备有效
| 申请号： | 201910303225.7 | 申请日： | 2019-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111744740B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 陈安顺 | 申请（专利权）人： | 群翊工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/04 | 分类号： | B05D3/04 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人： | 武玉琴;冷文燕 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭露一种基板烘烤设备，包含：框架结构、机台本体、至少一加热装置、移载装置及风机。机台本体设置于框架结构，机台本体内具有烘烤通道，烘烤通道的两端为基板入口及基板出口，且机台本体的底部具有容置孔。加热装置能被控制以提升烘烤通道的温度。风机包含有限位结构、风扇、导风罩、控制机组及马达。风机能通过限位结构固定设置于机台本体的底部，而马达则能对应穿出于容置孔。机台本体的一侧具有维修门。使用者可以通过开启维修门，而于烘烤通道中对风机进行安装、拆卸及维修，如此，将可大幅降低基板烘烤设备整体的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 设备 | ||
【主权项】：
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