[发明专利]一种用于光刻机的镭射架

摘要

本发明公开了光刻机镭射架技术领域的一种用于光刻机的镭射架，包括插杆、螺纹杆、套管和两组固定板，通过内螺纹管、塑料五星把手螺栓和正六边形板限制套管上下移动和固定，利用插杆和套管带动固定板固定在楼层之间，采用镭射管卡在两组软橡胶板和弧形软橡胶块之间，从而抑制住镭射管在水平方向的震动，确保光刻机本身震动在传递给镭射管时，其镭射管在水平方向的震动幅度在设备技术要求范围允许内；从而确保激光束能顺利通过镭射管传输给光刻机，保障了光刻机能正常运转，该装置操作简单，上下伸缩，可以运用在不同楼层之间，具有广泛的市场运用前景。

主权项

1.一种用于光刻机的镭射架，包括插杆（1）、螺纹杆（2）、套管（3）和两组固定板（4），其特征在于：所述螺纹杆（2）同轴一体焊接在插杆（1）上，所述套管（3）套接在插杆（1）外壁上，所述套管（3）的底端通过轴承和阶梯通孔同轴转动设置有与螺纹杆（2）相匹配的内螺纹管（5），所述内螺纹管（5）的外壁顶部同轴套接有正六边形板（6），所述内螺纹管（5）的外壁通过螺纹通孔固定有塑料五星把手螺栓（7），两组所述固定板（4）分别焊接在套管（3）的顶端和插杆（1）的底端，所述套管（3）的外壁前侧上下和插杆（1）的外壁下部均水平焊接有横向固定装置（8），所述横向固定装置（8）的右端焊接有传动装置（9），上部和中部两组所述传动装置（9）之间通过大方管（10）连接，中部和下部两组所述传动装置（9）之间通过贯穿插接在大方管（10）内腔的小方管（11）连接，下部所述传动装置（9）的底部固定连接有限位装置（12），且限位装置（12）包覆在小方管（11）外侧，所述小方管（11）的底端焊接有摇柄（13）；所述横向固定装置（8）包括横管（80），所述横管（80）的内腔水平中央通过轴承转动设置有丝杠（81），所述丝杠（81）的外壁配合设有螺母副（82），所述螺母副（82）的左侧水平焊接有空心柱（83），所述空心柱（83）与丝杠（81）同轴分布，所述空心柱（83）的左端固定胶粘有弧形软橡胶块（84），所述横管（80）的左端前后中心对称竖向均焊接有安装板（85），所述安装板（85）的相对内表面左侧焊接有L型限位板（86），所述L型限位板（86）的内腔拐角处通过九十度弹簧合页设置有转板（87），两组所述转板（87）的外侧面贴合，所述转板（87）的内表面固定胶粘有软橡胶板（88），所述弧形软橡胶块（84）的竖向中线与两组软橡胶板（88）之间的贴合缝隙相对平齐分布；所述传动装置（9）包括箱体（90），所述丝杠（81）右端通过轴承贯穿延伸到箱体（90）内腔左侧中央，所述大方管（10）贯穿焊接在箱体（90）上下表面轴线上，所述丝杠（81）的右端与大方管（10）的外壁之间通过锥齿轮副（91）连接。