[发明专利]生产TEM样品的方法

摘要

在生产TEM样品的方法中，物体(3)紧固到物体固持器(13)的元件(19)上使得该物体(3)的待加工的表面(11)被布置成与该元件(19)的旋转轴线(23)基本上垂直。离子束以掠入射被引导至待加工的表面(11)，其中，当离子束被引导至待加工的表面(11)时，该元件(19)采用相对于旋转轴线(23)的不同的旋转位置。

主权项

1.一种使用粒子束系统来生产TEM样品的方法，该粒子束系统包括：离子束柱(25)和物体固持器(13)，其中，该物体固持器(13)包括基座元件(15)、第一元件(17)、第二元件(19)、第一致动器、以及第二致动器，其中，该第一致动器被配置用于使该第一元件(17)相对于该基座元件(15)围绕第一旋转轴线(21)旋转，其中，该第二致动器被配置用于使该第二元件(19)相对于该第一元件(17)围绕第二旋转轴线(23)旋转，并且其中，该第一旋转轴线(21)基本上垂直于该第二旋转轴线(23)定向；其中，该方法包括：将物体(3)紧固到该物体固持器(13)的第二元件(19)上使得该物体(3)的待加工的表面(11)基本上垂直于该第二旋转轴线(23)布置；并且通过将该物体(3)抛光来生产该TEM样品，其中，抛光包括：‑控制该第一致动器使得该离子束柱(25)的主轴线(29)与待加工的该表面(11)成掠入射(α)而定向，并且控制该第二致动器使得该第二元件(19)相对于该第一元件(17)具有围绕该第二旋转轴线(23)的第一旋转位置；‑当该离子束柱(25)的主轴线(29)与待加工的该表面(11)成掠入射(α)而定向、并且该第二元件(19)相对于该第一元件(17)具有围绕该第二旋转轴线(23)的第一旋转位置时，将该离子束柱(25)产生的离子束引至该物体(3)；‑控制该第一致动器使得该离子束柱(25)的主轴线(29)与待加工的该表面(11)成掠入射(α)而定向，并且控制该第二致动器使得该第二元件(19)相对于该第一元件(17)具有围绕该第二旋转轴线(23)的第二旋转位置，其中，该第二旋转位置与该第一旋转位置不同；并且‑当该离子束柱(25)的主轴线(29)与待加工的该表面(11)成掠入射(α)而定向、并且该第二元件(19)相对于该第一元件(17)具有围绕该第二旋转轴线(23)的第二旋转位置时，将该离子束柱(25)产生的离子束引至该物体(3)。