[发明专利]BaZrS3 有效
| 申请号： | 201910309162.6 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN109943816B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 张垠;于忠海;曹开颜;王鼎臣 | 申请（专利权）人： | 扬州旭磁智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;H01L31/032 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 盛晓磊 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明属于材料技术领域，提供了一种BaZrS |
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| 搜索关键词： | bazrs base sub | ||
【主权项】：
1.一种BaZrS3薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、以BaZrO3作为反应材料，对其进行硫化处理制成靶材；步骤S2、利用步骤S1获得的靶材进行镀膜处理；步骤S3、对步骤S2获得的产物进行二次硫化处理。
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