[发明专利]一种消除电感耦合等离子体质谱二次放电的射频线圈在审

专利信息
申请号: 201910309460.5 申请日: 2019-04-17
公开(公告)号: CN109950124A 公开(公告)日: 2019-06-28
发明(设计)人: 王利;赵雪霖;邵正中;林翔;赵海燕;刘本康 申请(专利权)人: 大连民族大学
主分类号: H01J49/02 分类号: H01J49/02;H01J49/10;H01J49/26;G01N27/62
代理公司: 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 代理人: 胡景波
地址: 116600 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种消除电感耦合等离子体质谱二次放电的射频线圈,属于等离子体技术领域。本发明涉及的射频线圈同轴设置在由内管、中管和外管组成的等离子矩管外,与等离子矩管不接触,等离子矩管底端设有样品锥,样品锥和等离子矩管底端之间不连接,射频线圈为中空无氧铜管,内接循环水,射频线圈两端设有接线端子,接线端子与样品锥通过接地金属片连接。本发明通过对射频线圈的改造,减少甚至消除了等离子体矩管内的感应电势带来的二次放电现象,极大地减少了制造成本和使用成本。
搜索关键词: 射频线圈 矩管 等离子 二次放电 样品锥 电感耦合等离子体质谱 接线端子 底端 等离子体 等离子体技术 接地金属片 感应电势 同轴设置 无氧铜管 制造成本 不接触 循环水 内管 内接 外管 中空 改造
【主权项】:
1.一种消除电感耦合等离子体质谱二次放电的射频线圈,其特征在于,射频线圈两端设有接线端子A(5)和接线端子B(6);接线端子A(5)中设有射频金属片(101)和射频包裹部(102),射频包裹部(102)为圆柱状,射频金属片(101)为底端为3/4圆形的矩形片状结构,射频金属片(101)上设有电源孔(103)用于连接射频电源,该3/4圆形内径大于射频线圈(4)外径,该圆外径与射频包裹部(102)内径相同,射频线圈(4)、射频金属片(101)和射频包裹部(102)三者通过螺丝连接在一起。
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