[发明专利]一种金刚石膜研磨工装及其研磨方法在审
| 申请号： | 201910310379.9 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN109968185A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 魏俊俊;贾鑫;张建军;刘金龙;陈良贤;李成明;高旭辉 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/04;B24B37/10;B24B37/30 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于金刚石膜加工技术领域，具体涉及一种在金刚石膜研磨过程中，能够保障金刚石膜高平整度，且能实现方便快捷测量金刚石膜去除量的金刚石膜研磨工装及其研磨方法；所述工装包括：垂直定位轴，用于矫正所述金刚石膜膜厚均匀性；下托板，作为金刚石膜支撑体并固定金刚石膜；上托盘，用于夹持垂直定位轴和固定金刚石膜支撑体；所述垂直定位轴可拆卸地设置在所述上托盘上；所述下托板可拆卸地设置在所述上托盘下方。所述工装这种夹持工装设计可以实现在金刚石膜研磨过程中只进行一次粘膜/卸膜操作，而且在研磨过程中，可以便捷地对金刚石膜任意区域的厚度进行测量。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石膜 研磨 上托盘 固定金刚石 垂直定位 研磨工装 可拆卸 下托板 工装 加工技术领域 测量金刚石 膜厚均匀性 高平整度 夹持垂直 夹持工装 膜支撑体 定位轴 膜操作 膜去除 支撑体 粘膜 矫正 测量 | ||
【主权项】：
1.一种金刚石膜研磨工装，其特征在于，所述工装包括：垂直定位轴，用于矫正所述金刚石膜膜厚均匀性；下托板，作为金刚石膜支撑体并固定金刚石膜；上托盘，用于夹持垂直定位轴和固定金刚石膜支撑体；所述垂直定位轴可拆卸地设置在所述上托盘上；所述下托板可拆卸地设置在所述上托盘下方。
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