[发明专利]一种阵列基板及其制备方法、显示面板有效
| 申请号： | 201910311421.9 | 申请日： | 2019-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN110071122B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 柴国庆;陈思 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/12 | 分类号： | H01L27/12;H01L21/77;H01L27/32 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种阵列基板及其制备方法、显示面板，其中所述阵列基板包括衬底以及设置于所述衬底上的有源层，其中所述有源层采用的材料包括λ‑Ti3O5晶体材料。首先，本发明采用λ‑Ti3O5晶体材料替代Poly–Si材料制备阵列基板中的有源层，避免P‑Si材料成膜温度较高，易受可见光影响，产生光电流，影响TFT开关关态电流大小，从而影响画面质量等问题；更进一步的，本发明还通过干法刻蚀或者激光辐照的方式将有源层的两侧部的材料由λ‑Ti3O5晶体材料转换成β‑Ti3O5晶体材料，从而提升迁移率，降低光感电流，提高其电学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
1.一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底；有源层，所述有源层设置于所述衬底上；其中所述有源层采用的材料包括λ‑Ti3O5晶体材料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
