[发明专利]一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法在审
| 申请号： | 201910312487.X | 申请日： | 2019-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN111829433A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 金妮;徐皑东;刘明哲;张吉龙;王晨曦;王锴;王志平;闫炳均;胡波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 李巨智 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法，装置包括控制器、LK‑G30传感头、LK‑G500传感头、电源模块和上位机；方法包括在一个周期内，设定机械手的若干个设定位置，控制机械手运动到达设定位置，并通过LK‑G500传感头采样当前设定位置的到位信息，经过多个周期后得到到位信息数据集，分析到位信息数据集后提取到位信息特征值；设定晶圆的若干个设定转速，控制晶圆旋转达到设定转速，并通过LK‑G30传感头采样不同设定转速下的端跳数据，分析端跳数据集后提取端跳特征值。本发明对机械手重复定位精度进行检测，指导设备制造厂商的零部件选型和提高装备精度；对晶圆和真空卡盘在不同转速下的端跳变化规律进行检测。对工艺参数的优化也有着重要的指导作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 显影 设备 运动 参数 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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