[发明专利]一种原位失效分析样品台及扫描电镜在审
| 申请号： | 201910314190.7 | 申请日： | 2019-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN110010435A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 丁宁;侯南;刘珑;田力男;郭卫民;李囡 | 申请（专利权）人： | 山东省分析测试中心 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28;G01N23/2251;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张庆骞 |
| 地址： | 250014 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种原位失效分析样品台及扫描电镜。其中，一种原位失效分析样品台，包括换向部，其包括第一锥形齿轮和第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮啮合；第一锥形齿轮套设固定在第一齿轮轴上；第二锥形齿轮套设固定在第二齿轮轴上；夹持部，其安装在第二齿轮轴端部，用于夹持样品；驱动部，其与第一齿轮轴相连，用于驱动第一锥形齿轮转动，带动第二锥形齿轮原位转动，进而带动样品绕第二齿轮轴360度转动，以实现样品的原位失效分析。 | ||
| 搜索关键词： | 锥形齿轮 失效分析 齿轮轴 样品台 扫描电镜 啮合 齿轮轴端部 驱动 原位转动 换向部 夹持部 夹持 转动 | ||
【主权项】：
1.一种原位失效分析样品台，其特征在于，包括：换向部，其包括第一锥形齿轮和第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮啮合；第一锥形齿轮套设固定在第一齿轮轴上；第二锥形齿轮套设固定在第二齿轮轴上；夹持部，其安装在第二齿轮轴端部，用于夹持样品；驱动部，其与第一齿轮轴相连，用于驱动第一锥形齿轮转动，带动第二锥形齿轮原位转动，进而带动样品绕第二齿轮轴360度转动，以实现样品的原位失效分析。
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