[发明专利]物理量传感器组件、倾斜仪以及构造物监视装置

摘要

一种物理量传感器组件、倾斜仪以及构造物监视装置，提供够校正物理量传感器的输出信号的非线性的技术，而不使物理量传感器组件大型化。物理量传感器组件(1)具备：频率变化式物理量传感器(3)，频率根据物理量的变化而变化；基准信号振荡部(5)，输出基准信号；频率Δ‑Σ调制部(10)，使用基于作为频率变化式物理量传感器(3)的输出的被测量信号的动作信号，通过对基准信号进行频率Δ‑Σ调制，生成频率Δ‑Σ调制信号；第一低通滤波器(20)，设置于频率Δ‑Σ调制部(10)的输出侧，与作为频率变化式物理量传感器(3)的输出的被测量信号同步动作；第二低通滤波器(60)，设置于第一低通滤波器(20)的输出侧，与基准信号同步动作。

主权项

1.一种物理量传感器组件，其特征在于，包括：频率变化式物理量传感器，频率根据物理量的变化而变化；基准信号振荡部，输出基准信号；频率Δ‑Σ调制部，使用基于从所述频率变化式物理量传感器输出的被测量信号的动作信号，对所述基准信号进行频率Δ‑Σ调制，生成频率Δ‑Σ调制信号；第一滤波器，设置于所述频率Δ‑Σ调制部的输出侧，与所述被测量信号同步动作；第二滤波器，设置于所述第一滤波器的输出侧，与所述基准信号同步动作；以及锁存器，设置于所述第一滤波器和所述第二滤波器之间，与所述基准信号同步动作，所述频率变化式物理量传感器对所述物理量的输出信号特性具有非线性。