[发明专利]带有片上温控的微谐振式加速度计及微谐振装置有效
| 申请号： | 201910316453.8 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110095633B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 方政翔;韩丰田;尹永刚;吴秋平;董景新;刘云峰 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097;G01P15/08;G05D23/19;G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 熊曲;李旭亮 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及微谐振系统技术领域，特别是涉及一种带有片上温控的微谐振式加速度计及微谐振装置。该带有片上温控的微谐振式加速度计包括微谐振检测结构和加热结构，以及用于承载微谐振检测结构和加热结构的基底，加热结构沿微谐振检测结构的周向设置在微谐振检测结构周围的基底上。本发明的带有片上温控的微谐振式加速度计，加热结构集成在基底上，通过控制加热结构加热，能够在谐振式加速度计结构内部实现温度的恒定控制，有效抑制环境温度变化对加速度计精度的影响，同时可避免使用体积大、功耗高的温度控制装置。且采用包裹式的加热结构，加热结构分布在微谐振检测结构的四周，使得温度分布更均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 温控 谐振 加速度计 装置 | ||
【主权项】：
1.一种带有片上温控的微谐振式加速度计，其特征在于，包括：微谐振检测结构和加热结构，以及用于承载所述微谐振检测结构和所述加热结构的基底，所述加热结构沿所述微谐振检测结构的周向设置在所述微谐振检测结构周围的所述基底上。
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