[发明专利]掩膜版和掩膜版的张网方法有效
申请号: | 201910319253.8 | 申请日: | 2019-04-19 |
公开(公告)号: | CN110158026B | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 籍亚男;葛林;蔡世星 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 文小莉;刘芳 |
地址: | 215300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种掩膜版和掩膜版的张网方法,掩膜版包括相互贴合的第一掩膜版和第二掩膜版,第一掩膜版上具有至少一个呈镂空状的第一蒸镀区以及与异形屏的异形区对应的遮挡区,第二掩膜版上具有至少一个第二蒸镀区,每个所述第二蒸镀区上开设多个蒸镀孔,且所述第一蒸镀区与所述第二蒸镀区相对应,本发明提供的掩膜版,实现了掩膜版在张网过程中不易发生褶皱的目的,解决了现有掩膜版在张网过程中易在与异形屏的异形区对应的位置出现褶皱的问题。 | ||
搜索关键词: | 掩膜版 方法 | ||
【主权项】:
1.一种掩膜版,其特征在于,包括相互贴合的第一掩膜版和第二掩膜版,第一掩膜版上具有至少一个呈镂空状的第一蒸镀区以及与异形屏的异形区对应的遮挡区,第二掩膜版上具有至少一个第二蒸镀区,每个所述第二蒸镀区上开设多个蒸镀孔,且所述第一蒸镀区与所述第二蒸镀区相对应。
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