[发明专利]遮罩及其制造方法和使用方法有效
| 申请号： | 201910319701.4 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110824853B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 廖啟宏;廖主玮 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/38;G03F1/52;G03F1/54 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种遮罩及其制造方法和使用方法。遮罩的使用方法方法包括将遮罩夹持在遮罩台上，其中遮罩包括多层磁膜；通过使用遮罩来执行第一微影制程；使遮罩移动远离遮罩台；以及确认多层薄膜的表面层的表面状况是否可接受；以及当表面层的表面状况被确认为不可接受时自多层磁膜剥离多层磁膜的表面层。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 制造 方法 使用方法 | ||
【主权项】：
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