[发明专利]远程模块化高频源在审
| 申请号： | 201910320330.1 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110391128A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 汗赫·阮;蔡泰正;菲利普·艾伦·克劳斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文描述的实施方式包括一种处理工具，所述处理工具包括处理腔室、用于支撑所述处理腔室中的基板的吸盘、形成所述处理腔室的一部分的介电窗、以及模块化高频发射源。在一个实施方式中，所述模块化高频发射源包括多个高频发射模块。在一个实施方式中，每个高频发射模块包括振荡器模块、放大模块和施加器。在一个实施方式中，所述放大模块耦接到所述振荡器模块。在一个实施方式中，所述施加器耦接到所述放大模块。在一个实施方式中，所述施加器定位在所述介电窗附近。 | ||
| 搜索关键词： | 处理腔室 放大模块 施加器 高频发射模块 振荡器模块 处理工具 高频发射 介电窗 模块化 吸盘 远程模块 高频源 基板 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种处理工具，包括：处理腔室；吸盘，所述吸盘用于支撑所述处理腔室中的基板；介电窗，所述介电窗形成所述处理腔室的一部分；和模块化高频发射源，所述模块化高频发射源包括：多个高频发射模块，其中每个高频发射模块包括：振荡器模块；放大模块，其中所述放大模块耦接到所述振荡器模块；和施加器，其中所述施加器耦接到所述放大模块，并且其中所述施加器定位在所述介电窗附近。
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