[发明专利]一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置在审
| 申请号： | 201910320433.8 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110068318A | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;张瑞;丁希聪;秦世洋 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11681 | 代理人： | 刘莹莹 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置,主要结构由键合基板、微陀螺结构、磁阻基板三部分组成，其中键合基板设置于微陀螺结构下方，微陀螺结构上表面中心位置设置有蛇形通电线圈，磁阻基板设置于微陀螺结构上方，其中心设置有隧道磁阻元件，隧道磁阻元件与蛇形通电线圈相对应，通过敏感到蛇形通电线圈产生的正弦磁场变化，自身阻值发生剧烈改变，进而实现对微陀螺科氏力的检测。此装置整体结构设计合理紧凑，创新性的将蛇形通电线圈应用于微陀螺中，此外还采用高灵敏的隧道磁阻元件检测微弱磁场变化，预期可将微陀螺的检测精度提高一至两个数量级，整体结构设计合理，工艺制造简单，可实现性强且容易检测。 | ||
| 搜索关键词： | 微陀螺 通电线圈 蛇形 隧道磁阻元件 整体结构设计 检测 隧道磁阻 键合基 磁阻 上表面中心 个数量级 工艺制造 基板设置 微弱磁场 正弦磁场 中心设置 板设置 创新性 科氏力 基板 紧凑 灵敏 敏感 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置，其特征在于，所述隧道磁阻微陀螺装置包括至少一个键合基板、至少一个微陀螺结构、及至少一个磁阻基板；所述键合基板的一侧依次层叠设置所述微陀螺结构、及磁阻基板，所述微陀螺结构具有提供恒定的磁场的蛇形通电线圈，所述磁阻基板具有敏感外界磁场变化的隧道磁阻元件，所述蛇形通电线圈与隧道磁阻元件相对设置，并通过隧道磁阻原理进行角速率信号检测。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中北大学，未经中北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910320433.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
