[发明专利]一种与Si工艺兼容的Nix 有效
| 申请号： | 201910322519.4 | 申请日： | 2019-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111834467B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 张卫;李晓茜;陈金鑫;卢红亮;黄伟 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01L29/872 | 分类号： | H01L29/872;H01L21/34 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种与Si工艺兼容的Ni |
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| 搜索关键词： | 一种 si 工艺 兼容 ni base sub | ||
【主权项】：
暂无信息
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