[发明专利]一种适用于多尺寸规格的晶圆夹持进给装置

摘要

本发明提供了一种适用于多尺寸规格的wafer晶圆夹持进给装置，至少包括底座和夹持组件，底座上设置有上下层叠布局的上拖板和下拖板，底座、上拖板和下拖板三者均为中空结构；夹持组件安装于上拖板中，所述夹持组件包括托板、撑紧圈以及压板，撑紧圈连接于上拖板上，压板固定于托板上，所述托板与上拖板之间设置有导向导轨和气缸，托板在气缸的驱动下沿着导向导轨在竖直方向上下移动。该装置结构简单，在不额外增加研发成本，以及保持原有的效率情况下，能够快速的完成8吋和12吋的wafer晶圆夹持进给机构的切换，并完成8吋(12吋)wafer晶圆夹持进给机构在X和Y两个方向的精准运动。

主权项

1.一种适用于多尺寸规格的wafer晶圆夹持进给装置，至少包括底座和夹持组件，其特征在于：底座上设置有上下层叠布局的上拖板和下拖板，底座、上拖板和下拖板三者均为中空结构，所述下拖板通过两根Y向直线导轨安装于底座上并能够沿Y向滑动，下拖板和底座之间还设置有Y向滚动丝杆组件，Y向滚动丝杆组件通过螺母座与下拖板连接，Y向电机安装于底座上并且与Y向滚动丝杆组件连接；所述上拖板通过两根X向直线导轨安装于下拖板上并能够沿X向滑动，上拖板和下拖板之间还设置有X向滚动丝杆组件，X向滚动丝杆组件通过螺母座与上拖板连接，X向电机安装于下拖板上并且与X向滚动丝杆组件连接；Y向电机驱动Y向滚动丝杆组件转动并进一步驱动下拖板连同上拖板沿着Y向直线导轨滑动，X向电机驱动X向滚动丝杆组件转动并进一步驱动上拖板沿着X向直线导轨滑动；夹持组件安装于上拖板中，所述夹持组件包括托板、撑紧圈以及压板，撑紧圈连接于上拖板上，压板固定于托板上，所述托板与上拖板之间设置有导向导轨和气缸，托板在气缸的驱动下沿着导向导轨在竖直方向上下移动。